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超音波液體流量計 μLF - 300S / μLF - 300

產品敘述

型號 :μLF - 300S(感測器分離型),μLF - 300(結合式)


對於諸如 IPA,純水,化學溶液等半導體製造工藝中的微小區域的流量控制
● 微流量測量從 1 mL / min
● 透過數位信號處理對微小流量的高精確度測量
● 感測器部件具有非接觸式結構
● 範圍廣泛


技術參數 :

μLF-300S(感測器分離型)
 型號  μLF - 300 S +μLT - 8 I(1/8 英寸)或
 μLF - 300 S +μLT - 4  I(1/4 英寸)
 測量原理  超音波傳播時差法
 要測量的液體  純水,各種化學液體
 *如果是水以外的其他液體,請提前檢查
 自適應流體溫度範圍  15 ~ 80 °C
 *60 °C 以上使用時請先確認
 流體壓力  0.5 MPa 以下
 流體動力黏度  100 mm ^2/sec 以下
 流量範圍  0 ~ 1000 ml/min (μLF-300S +μLT-8I)
 0 ~ 4000 ml/min (μLF-300S +μLT-4I)
 測量精確度  ±0.5%RD(1/8 英寸:200 ~ 1000 ml/min
 條件:室溫,恆溫水)
 ±1 ml/min(1/8 英寸:0 ~ 199 ml/min)
 ±0.5%RD(1/4 英寸:800 ~ 4000 ml / min
 條件:室溫,恆溫水)
 ±4 ml/min(1/4 英寸:0 ~ 799 ml/min)
 重複性  ±0.2% (純液體溫度 ±0.5 °C,平均 30 秒)
 電源  DC 24 V ± 10%
 功耗  3.6 W 以下
 重量  轉換器 240 g ,檢測單元 70 g
 尺寸  感測器 W97 x H49 x D127 mm
 檢測零件 W90 x H25 x D20 (不包括管)
 檢測單元
 管材料  PFA (氟樹脂)
 管直徑  1/8 英寸外徑 : 3.17 mm,ID : 2.17 mm,
 1/4 英寸外徑 : 6.35 mm,ID : 4.35 mm
 結構  相當於 IP65
 包刮電纜  5 m,連接器連接
 I/O 單元
 數位輸入 / 輸出  4 線 RS-422,4 線 RS-485
 類比輸出  4 ~ 20 mA (瞬間流量),負載電阻 500 Ω 以下
 結合脈衝輸出  1 頻道 (集電極開路)
 警報輸出  1 頻道 (集電極開路)
 聯繫人輸入  1 頻道 (零流量設定或積分清除)
 關鍵輸入  4 輸入按鈕
 
 

μLF-300(結合型)

 A 轉換器
 型號  μLF-308I(1/8 英寸)或 μLF-304I(1/4 英寸)
 測量原理  超音波傳播時差法
 測量液體  水,水溶液,油,各種化學液體
 *如果是水以外的其他液體,請提前檢查
 自適應流體溫度範圍  10 ~ 60 °C
 *60 °C 以上請提前查詢
 環境溫度範圍  溫度 : 0 ~ 50 °C (無冷凝)
 流量範圍  0 ~ 1000 ml/min (μLF-308I)
 0 ~ 4000 ml/min(μLF-304I)
 測量精確度  ±1%RD(1/8 英寸:200 ~ 1000 ml/min,室溫下,在水
 的情況下)
 ±2 ml/min(1/8 英寸:0 ~ 199 ml/min)
 ±1%RD(1/4 英寸:800 ~ 4000 ml/min,室溫下,在水的
 情況下)
 ±8 ml/min(1/4 英寸:0 ~ 799 ml/min)
 重複性  ±0.2% (液體溫度 ±0.5 °C,平均值 30 秒)
 反應  10 毫秒
 結構  室內規格 (相當於 IP65)
 電源  DC 5 V ±10%
 功耗  1.5 W 以下
 檢測單元
 管材料  PFA (氟樹脂)
 管直徑  1/8 英寸外徑 : 3.17 mm , ID : 2.17 mm ,
 1/4 英寸外徑 : 6.35 mm , ID : 4.35 mm
 輸出單元
 串口  4 線 RS-422
 通訊協議  數據位固定 8 位,偶校正固定,停止位 1 位固定
 波特率  38400 波特
 串行輸出數據內容  瞬間流量值,綜合流量值,誤碼
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