超音波液體流量計 μLF - 300S / μLF - 300

產品敘述

型號：μLF - 300S（感測器分離型），μLF - 300（結合式）

對於諸如 IPA，純水，化學溶液等半導體製造工藝中的微小區域的流量控制
● 微流量測量從 1 mL / min
● 透過數位信號處理對微小流量的高精確度測量
● 感測器部件具有非接觸式結構
● 範圍廣泛

技術參數 :

μLF-300S（感測器分離型）

型號	μLF - 300 S +μLT - 8 I（1/8 英寸）或 μLF - 300 S +μLT - 4 I（1/4 英寸）
測量原理	超音波傳播時差法
要測量的液體	純水，各種化學液體
要測量的液體	*如果是水以外的其他液體，請提前檢查
自適應流體溫度範圍	15 ~ 80 °C
自適應流體溫度範圍	*60 °C 以上使用時請先確認
流體壓力	0.5 MPa 以下
流體動力黏度	100 mm ^2/sec 以下
流量範圍	0 ~ 1000 ml/min (μLF-300S +μLT-8I）
流量範圍	0 ~ 4000 ml/min (μLF-300S +μLT-4I）
測量精確度	±0.5％RD（1/8 英寸：200 ~ 1000 ml/min 條件：室溫，恆溫水）
	±1 ml/min（1/8 英寸：0 ~ 199 ml/min）
	±0.5％RD（1/4 英寸：800 ~ 4000 ml / min 條件：室溫，恆溫水）
	±4 ml/min（1/4 英寸：0 ~ 799 ml/min）
重複性	±0.2% (純液體溫度 ±0.5 °C，平均 30 秒)
電源	DC 24 V ± 10%
功耗	3.6 W 以下
重量	轉換器 240 g ，檢測單元 70 g
尺寸	感測器 W97 x H49 x D127 mm
尺寸	檢測零件 W90 x H25 x D20 (不包括管)
檢測單元
管材料	PFA (氟樹脂)
管直徑	1/8 英寸外徑 : 3.17 mm，ID : 2.17 mm， 1/4 英寸外徑 : 6.35 mm，ID : 4.35 mm
結構	相當於 IP65
包刮電纜	5 m，連接器連接
I/O 單元
數位輸入 / 輸出	4 線 RS-422，4 線 RS-485
類比輸出	4 ~ 20 mA (瞬間流量)，負載電阻 500 Ω 以下
結合脈衝輸出	1 頻道 (集電極開路)
警報輸出	1 頻道 (集電極開路)
聯繫人輸入	1 頻道 (零流量設定或積分清除)
關鍵輸入	4 輸入按鈕

μLF-300（結合型）

A 轉換器
型號	μLF-308I（1/8 英寸）或 μLF-304I（1/4 英寸）
測量原理	超音波傳播時差法
測量液體	水，水溶液，油，各種化學液體
測量液體	*如果是水以外的其他液體，請提前檢查
自適應流體溫度範圍	10 ~ 60 °C
自適應流體溫度範圍	*60 °C 以上請提前查詢
環境溫度範圍	溫度 : 0 ~ 50 °C (無冷凝)
流量範圍	0 ~ 1000 ml/min （μLF-308I）
流量範圍	0 ~ 4000 ml/min（μLF-304I）
測量精確度	±1％RD（1/8 英寸：200 ~ 1000 ml/min，室溫下，在水的情況下）
	±2 ml/min（1/8 英寸：0 ~ 199 ml/min）
	±1％RD（1/4 英寸：800 ~ 4000 ml/min，室溫下，在水的情況下）
	±8 ml/min（1/4 英寸：0 ~ 799 ml/min）
重複性	±0.2% (液體溫度 ±0.5 °C，平均值 30 秒)
反應	10 毫秒
結構	室內規格 (相當於 IP65)
電源	DC 5 V ±10%
功耗	1.5 W 以下
檢測單元
管材料	PFA (氟樹脂)
管直徑	1/8 英寸外徑 : 3.17 mm , ID : 2.17 mm , 1/4 英寸外徑 : 6.35 mm , ID : 4.35 mm
輸出單元
串口	4 線 RS-422
通訊協議	數據位固定 8 位，偶校正固定，停止位 1 位固定
波特率	38400 波特
串行輸出數據內容	瞬間流量值，綜合流量值，誤碼

超音波液體流量計 μLF - 300S / μLF - 300

型號 ：μLF - 300S（感測器分離型），μLF - 300（結合式）

μLF-300（結合型）

型號：μLF - 300S（感測器分離型），μLF - 300（結合式）